先日、ある電気通信技術者の方から光学は専門外との上でだが、エキシマレーザーについて話を聞く機会があった。 エキシマレーザーも紫外線も波長は400~200nmの範囲であり同じ部類に入るそうだ。波長が短くなるほど高精度の切除が可能になり、100nm以下などさ…
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